描述：HEM-500HA高低溫電磁型全自動霍爾效應(yīng)測試系統(tǒng)本儀器系統(tǒng)由電磁鐵、電磁鐵電源、高精度恒流源、高精度電壓表、霍爾效應(yīng)樣品支架、標(biāo)準(zhǔn)樣品、高低溫杜瓦，控溫儀，系統(tǒng)軟件組成。為本儀器系統(tǒng)專門研制的CH-320A效應(yīng)儀將恒流源，六位半微伏表及霍爾測量復(fù)雜的切換繼電器——開關(guān)組裝成一體，大大減化了實驗的連線與操作。可單獨做恒流源、微伏表使用。實驗結(jié)果由軟件自動計算得到，可同時得到體載流子濃度(Bulk

遷移率（Mobility）

0.1cm²/volt*sec ～10⁸cm²/volt*sec

電阻率范圍（Resistivity）

10^-7 Ohm*cm～10¹⁰ Ohm*cm

霍爾電壓

（Hall voltage）

0.1uV ～ 10V

霍爾系數(shù)

10^-5 ～ 10²⁷cm³/C

可測試材料類型

半導(dǎo)體材料

SiGe, SiC, InAs, InGaAs, InP,AlGaAs, HgCdTe和鐵氧體材料等

低阻抗材料

石墨烯、金屬、透明氧化物、

弱磁性半導(dǎo)體材料、TMR材料等

高阻抗材料

半絕緣的GaAs, GaN, CdTe等

材料導(dǎo)電粒子

材料的P型與N型測試

磁場環(huán)境

磁鐵類型

可變極性電磁鐵

磁場大小

2000mT（極頭間距為：10mm）

1500mT（極頭間距為：20mm）

1000mT（極頭間距為：30mm）

800mT（極頭間距為：40mm）

600mT（極頭間距為：50mm）

霍爾效應(yīng)測試磁場

高低溫霍爾效應(yīng)中極頭間距為40mm，此時磁場最大為800mT

均勻區(qū)

1%

最小分辨率

0.1Gs

可選磁環(huán)境

可根據(jù)客戶需求定制相關(guān)磁性大小的電磁鐵，

電學(xué)參數(shù)

電流源

1.00nA-1000.00mA

電流源分辨率

1pA

測量電壓

0～±10V

電壓測量分辨率

0.0001mV

溫度環(huán)境

80K ～ 773K（高低溫溫度調(diào)節(jié)0.1K）

控溫精度

小于0.05%F.S±1個字

其他配件

遮光性

外部安裝遮光部件，使得測試材料更加穩(wěn)定

樣品尺寸

10mm*10mm（標(biāo)準(zhǔn)）

16mm*16mm（最大）

箱式機(jī)柜

600*600*1000mm

測試樣片

提供中國科學(xué)院半導(dǎo)體所霍爾效應(yīng)

標(biāo)準(zhǔn)測試樣片及數(shù)據(jù)：1套

（硅、鍺、砷化鎵、銻化銦）

制作歐姆接觸

電烙鐵、銦片、焊錫、漆包線等